用于光致抗蚀剂的聚对羟基苯乙烯的合成及其进展

孟诗云,李光宪,杨其,黄亚江

化学进展 ›› 2004, Vol. 16 ›› Issue (02) : 243.

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综述与评论

用于光致抗蚀剂的聚对羟基苯乙烯的合成及其进展

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Progress in the Synthesis of Poly(4-Hydroxystyrene) for Polymer Photoresists

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