低介电常数介质薄膜的研究进展*

王娟,张长瑞,冯坚

化学进展 ›› 2005, Vol. 17 ›› Issue (06) : 1001-1011.

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化学进展 ›› 2005, Vol. 17 ›› Issue (06) : 1001-1011.
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低介电常数介质薄膜的研究进展*

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The Development of Low Dielectric Constant Films

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