MOCVD生长铁电氧化物薄膜MO源研究进展

孔祥蓉,刘俊亮,曾燕伟

化学进展 ›› 2005, Vol. 17 ›› Issue (05) : 839-846.

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化学进展 ›› 2005, Vol. 17 ›› Issue (05) : 839-846.
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MOCVD生长铁电氧化物薄膜MO源研究进展

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Advances in Research of Metallorganic Precursors for Ferroelectric Oxide Thin Films via MOCVD

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