化学气相沉积法制备氮化钛

王淑涛,张祖德

化学进展 ›› 2003, Vol. 15 ›› Issue (05) : 374.

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化学进展 ›› 2003, Vol. 15 ›› Issue (05) : 374.
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化学气相沉积法制备氮化钛

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Preparation of Titanium Nitride by Chemical Vapor Deposition

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