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化学进展 2002, Vol. 14 Issue (05): 325-   后一篇

• 综述与评论 •

纳米TiO2薄膜的制备方法*

崔晓莉;江志裕**   

  1. 复旦大学化学系 上海 200433
  • 收稿日期:2001-09-01 修回日期:2001-12-01 出版日期:2002-09-24 发布日期:2002-09-24
  • 通讯作者: 江志裕

Advances in Preparation of the Films of TiO2

Cui Xiaoli;Jiang Zhiyu**   

  1. Department of Chemistry, Fudan University, Shanghai 200433, China
  • Received:2001-09-01 Revised:2001-12-01 Online:2002-09-24 Published:2002-09-24
  • Contact: Jiang Zhiyu
本文对纳米TiO2薄膜的各种制备方法,包括基于溶胶-凝胶的涂层方法、电沉积、化学气相沉积、物理气相沉积、自组装制膜,以及喷雾热分解等方法的研究进展进行了综述,对不同方法的优缺点进行了比较和评述,对今后TiO2薄膜制备的研究方法提出了一些建议。
The methods of preparation for titania film including sol-gel painting-on or dip-coating, electrodeposition,chemical vapor deposition, physical vapor deposition, self-assembly method and spray pyroltsis technology are reviewed. The advantages and disadvantages of different methods are described. Some opinions on further studies on the preparation of TiO2 film are also presented.

中图分类号: 

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[ 1 ] Fujishima A , Hashimoto K, Watanabe T. TiO2 Photocatalysis Fundamentals and Applications. BKC, Inc. 1999
[ 2 ] Wang R, Hashimoto K, Fujishima A , et al. Nature,1997, 388: 431—432
[ 3 ] O’ Regan, GrtzelM. Nature, 1991, 353: 737—739
[ 4 ] Bach U , Lupo D, Comte P, et al. Nature , 1998, 395:583—585
[ 5 ] Hagfeldt A , Grtzel M. Chem. Rev. , 1995, 95: 49—68
[ 6 ] 范崇政(Fan C Z) , 肖建平(Xiao J P) , 丁延伟(Ding Y W ).科学通报(Chinese Science Bulletin ) , 2001, 46 (4) : 265—272
[ 7 ] 韩兆慧(Han Z H ) , 赵化侨( Zhao H Q ). 化学进展(Progress in Chemistry) , 1999, 11 (1) : 1—10
[ 8 ] Tryk D A , Fujishima A , Honda K. Electrochimica Acta,2000, 45, 2363—2376
[ 9 ] 钱新明(Qian X M ) , 白玉白(Bai Y B) , 李铁津(Li T J )等. 化学进展(Progress in Chemistry) , 2000, 12 (2) : 141
[ 10 ] 林志东(Lin Z D) , 刘黎明(Liu L M ) , 郭云(Guo Y) , 达道安(Da D A ). 材料导报(Materials Review ) , 2001, 15 (10) :35—37
[ 11 ] 张彭义(Zhang P Y) , 余刚(Yu G) , 蒋展鹏(Jiang Z P).环境科学进展(Advance in Environmental Science) , 1998, 6(5) : 50—56
[ 12 ] 潘晓燕(Pan X Y) , 马学鸣(Ma X M ). 自然杂志(Zi Ran Za Zhi) , 2001, 23 (1) : 29—33
[ 13 ] 王传义(Wang C Y) , 刘春艳(Liu C Y) , 沈涛(Shen T ). 高等学校化学学报(Chem. J. Chinese University) , 1998, 19(12) : 2013—2019
[ 14 ] 万海保(Wan H B) , 曹立新(Cao L X) , 席时权(Xi S Q )等. 化学通报(Chem. Bull. ) , 1999, 6: 30—34
[ 15 ] Wang Z S, Li F Y, Huang C H, et al. J. Phys. Chem. B,2000, 104: 9676—9682
[ 16 ] Park N G, Lagemaat J , Frank A J. J. Phys. Chem. B,2000, 104: 8989—8994
[ 17 ] Cherian S, Wamser C C. J. Phys. Chem. B, 2000, 104:3624—3629
[ 18 ] 张莉(Zhang L ) , 高恩勤(Gao E Q ) , 王艳芹(Wang Y Q )等. 化工冶金( Engineering Chemistry & Metallurgy ) ,2000, 21 (2) : 113—117
[ 19 ] Zaban A , Diamant Y. J. Phys. Chem. B, 2000, 104:10043—10046
[ 20 ] 陈章其(Chen Z Q ) , 林云(Lin Y) , 倪明生(Ni M S). 太阳能学报(Acta Energiae Solaris Sinica) , 1999, 20 ( 2) :171—177
[ 21 ] 钱新明(Qian X M ) , 白玉白(Bai Y B) , 李铁津(Li T J )等. 高等学校化学学报(Chem. J. Chinese University) ,2000, 21 (2) : 295—297
[ 22 ] Fang J H, Lu X M , Zhang X F, et al. Supramo lecular Science, 1998, 5: 709—711
[ 23 ] Zhao G L , Kozuka H, Yoko T. Thin Solid Film s, 1996,277: 147—154
[ 24 ] 岳林海(Yue L H) , 徐铸德(Xu Z D). 化学通报(Chem.Bull. ) , 1998, 9: 28—31
[ 25 ] 王传义(Wang C Y) , 刘春艳(Liu C Y) , 沈涛(Shen T ).科学通报(Chinese Science Bulletin ) , 1998, 43 (3) : 268—272
[ 26 ] Wang C Y, Liu C Y, Zheng X, et al. Colloid and Surface A , 1998, 131: 271—280
[ 27 ] Sasaki T, Koshizaki N , Koinuma M , Matsumo to Y.Nano structured materials, 1999, 12: 511—514
[ 28 ] Wen C, Ishikawa K, Kishima M , Yamada K So l. Enery Materials & Solar Cells, 2000, 61 (4) : 339—351
[ 29 ] 楮道葆(Chu D B) , 周幸福(Zhou X F) , 林昌键(Lin C J )等. 电化学( Electrochemistry) , 1999, 5 (4) : 443—447
[ 30 ] 马登军(Ma D J ) , 侯文祥(Hou W X) , 陈秀增(Chen X Z)等. 天津大学学报( J. Tianjin University) , 1998, 31 (6) :804—809
[ 31 ] 赵敬哲(Zhao J Z) , 王子忱(Wang Z C) , 刘艳华(Liu Y H)等. 高等学校化学学报(Chem. J. Chinese University) ,1999, 20 (3) : 467—469
[ 32 ] 张青红(Zhang Q H) , 高濂(Gao L ) , 郭景坤(Guo J K). 无机材料学报(Journal of Inorganic Materials) , 2000, 15 (1) :21—25
[ 33 ] 袁伟(Yuan W ) , 廖海达(Liao H D) , 赵增迎(Zhao Z Y).北京化工大学学报( J. Beijing University of Chemical Technology) , 1999, 26 (4) : 79—80
[ 34 ] 刘敬肖(Liu J X) , 杨大智(Yang D Z) , 蔡英骥(Cai Y J ). 硅酸盐学报(J. of the Chinese Ceramic Society) , 2001, 29(4) : 350—354
[ 35 ] 余家国(Yu J G) , 赵修建(Zhao X J ) , 赵青南(Zhao Q N ).物理化学学报(Acta Physico-Chimica Sinica) , 2000, 16 (9) :792—797
[ 36 ] 傅正文(Fu Z W ) , 罗骞(Luo Q ) , 张伟(Zhang W ) 等. 化学学报(Acta Chim Sinica) 2000, 58 (10) : 1226—1229
[ 37 ] Ohko Y, Saitoh S, Tatsuma T, Fujishima A. J. Electrochem. Soc. 2001, 148 (1) : B24—B28
[ 38 ] 沈杰(Shen J ) , 黄昊(Huang H) , 张永熙(Zhang Y X) , 杨锡良(Yang X L ) 等. 真空科学与技术(Vacuum Science and Technology) , 2000, 20 (6) : 385—389
[ 39 ] 陈文梅(Chen W M ) , 杨尊先(Yang Z X) , 赵修建(Zhao X J ) , 余家国(Yu J G). 硅酸盐学报(J. of the Chinese Ceramic Society) , 2001, 29 (1) : 39—43
[ 40 ] Sergey K P, Dmitri V T, Anatoly I K S. J. Phys. Chem.B, 2001, 105 (21) : 4816—4823
[ 41 ] Zheng M P, Jin Y P, Gu M Y. 功能材料(J. of Functional Materials) , 2000, 31 (4) : 431—432
[ 42 ] Traversa E D, Luisa M , et al. J. Sol-Gel Sci. Technol,2000, 19 (1/2/3) : 733—736
[ 43 ] Isamu M , Yoshihiro T, Yasutake T, et al. J. Sol-Gel Sci.Technol. , 2000, 19 (1/2/3) : 227—230
[ 44 ] Kavan L , O’Regan B, Kay A , Grtzel M. J. Electroanal.Chem. , 1993, 346: 291—307
[ 45 ] Kavan L , Stoto T, Grtzel M , Fitzmaurice D, Shklover V. J. Phys. Chem. , 1993, 97: 9493—9498
[ 46 ] 罗谨(Luo J ) , 周静(Zhou J ) , 祖延兵(Zu Y B) 等. 高等学校化学学报(Chem. J. Chinese University ) , 1998, 19:1484—1487
[ 47 ] Natarajan C, Nogami G. J. Electrochem. Soc. , 1996, 143(5) : 1547—1550
[ 48 ] Karuppuchamy S, Amalnerkar D P, Yamaguchi K, et al.Chem. Lett. , 2001: 78—79
[ 49 ] 潭小春(Tan X C) , 黄颂羽(Huang S Y). 化学物理学报(Chinese Journal of Chemical Physics ) , 1998, 11 ( 3 ) :416—421
[ 50 ] Hayward R G, Saville D A , Aksay I A. Nature, 2000,404: 56—59
[ 51 ] 邱健斌(Qiu J B) , 曹亚安(Cao Y A ) , 马颖(Ma Y) 等. 物理化学学报(Acta Physico-Chimica Sinica) , 2000, 16 (1) :1—4
[ 52 ] 崔晓莉(Cui X L ) , 江志裕(Jiang Z Y). 第十一届全国电化学会议论文集(The Abstract of 11th National Conference of electrochemistry ) , 2001, 10, F022, 南京
[ 53 ] 魏培海(Wei P H ) , 姚发业(Yao F Y) , 王娅娟(Wang Y J ). 山东师大学报(自然科学版) ( Journal of Shandong Normal University, Natural Science Edition ) , 2000, 15(2) : 151—153
[ 54 ] 李文军(Li W J ) , 李文漪(Li W Y) , 赵君芙(Zhao J F) 等.微细加工技术(Microfabrication Technology) , 2000, 3:63—69
[ 55 ] 孙顺明(Sun S M ). 电子元件与材料(Electronic Components &Materials) , 1999, 1: 3—4
[ 56 ] 郭清萍(Guo Q P) , 武正簧(Wu Z H) , 赵君芙(Zhao J F)等. 太原理工大学学报(J. of Taiyuan University of Technology) , 1998, 29 (3) : 240—243
[ 57 ] 曹亚安(Cao Y A ) , 谢腾峰(Xie T F) , 张昕彤(Zhang Y T)等. 物理化学学报(Acta Physico-Chimica Sinica) , 1999, 15(8) : 680—683
[ 58 ] 黄昊(Huang H) , 张永熙(Zhang Y X) , 杨锡良(Yang X L )等. 真空科学与技术(V acuum Science and Technology) ,2000, 20 (4) : 252—260
[ 59 ] Takeda S, Suzuki S, Odaka H, Hosono H. Thin Solid Film, 2001, 392 (2) : 338—344
[ 60 ] Fu Z W , Zhou M F , Qin Q Z, et al. Chinese Science Bulletin, 1998, 43: 161 344—348
[ 61 ] 傅正文(Fu Z W ) , 孔继烈(Kong J L ) , 秦启宗(Qin Q Z)等. 中国科学(Science in China) , 1999, 29 (6) : 546—552
[ 62 ] Jiang L Z (蒋立中) , Zhou M F (周鸣飞) , Liu X N (刘先年) . 物理化学学报(Acta Physico-Chimica Sinica) , 1999,15 (8) : 752—756
[ 63 ] Shin H, Collins R J , De Guire M R. J. Mater. Res. 1995,10 (3) : 692
[ 64 ] 黄丹(Huang D) , 黄宁平(Huang N P ) , 袁春伟(Yuan C W ). 东南大学学报(J Southeast University ) , 1997, 27 (1) :68—71
[ 65 ] Jin J , Li L S, Li Y, Chen X, et al. Thin Solid Film,2000, 379 (1-2) : 218—223
[ 66 ] Hideki M , Kazuyuki N , Nobuyoshi B. Jpn. J. Appl.Phys. , 1992, 31: L 1775—L 1777
[ 67 ] Matsumoto Y, Ishikawa Y, Nishida M , et al. J. Phys.Chem. B 2000, 104: 4204—4209
[ 68 ] Kavan L , Grtzel M. Electrochim Acta, 1995, 40 ( 5) :643—652
[ 69 ] Ohko Y, Tatsuma T, Fujishima A. J. Phys. Chem. B,2001, 105: 10016—10021
[ 70 ] Tatsuma T, Saitoh S, Ohko Y, et al. Chem. Mater. ,2001, 13: 2838—2842
[ 71 ] Sun R D, Nakajima A , Fujishima A , et al. J. Phys.Chem. B, 2001, 105: 1984—1990
[ 72 ] 王晓萍(Wang X P) , 于云(Yu Y) , 高濂(Gao L ) 等. 功能材料与器件学报(J. of Function Materals and Devices) ,2000, 6 (2) : 89—94
[ 73 ] Asahi R, Morikawa T, Ohwaki T, et al. Science, 2001,293 (13) : 269—271
[ 74 ] Song K Y, Park M K, Kwon Y T, et al, Chem. Mater. ,2001, 13: 2349—2355

[1] 张辉, 王珊珊, 余金山. 低对称性二维ReS2及其异质结的化学气相沉积法制备及性质[J]. 化学进展, 2022, 34(6): 1440-1452.
[2] 刘风国, 王博, 章莲玉, 刘爱民, 王兆文, 石忠宁. 离子液体在电沉积铝及铝合金中的应用[J]. 化学进展, 2020, 32(12): 2004-2012.
[3] 朱文杰, 台国安, 王旭峰, 古其林, 伍增辉, 朱孔军. 二维原子晶体材料的制备与应变传感特性研究[J]. 化学进展, 2017, 29(11): 1285-1296.
[4] 曾甜, 尤运城, 王旭峰, 胡廷松, 台国安. 二维硫化钼基原子晶体材料的化学气相沉积法制备及其器件[J]. 化学进展, 2016, 28(4): 459-470.
[5] 尤运城, 曾甜, 刘劲松, 胡廷松, 台国安. 类石墨烯二硫化钨薄膜的化学气相沉积法制备及其应用[J]. 化学进展, 2015, 27(11): 1578-1590.
[6] 任芳芳, 蒋丰兴, 周卫强, 杜玉扣*, 徐景坤*. 导电聚合物/贵金属复合材料应用于C1小分子电催化氧化[J]. 化学进展, 2012, (9): 1818-1836.
[7] 林原, 王尚华, 付年庆, 张敬波, 周晓文, 肖绪瑞. 柔性染料敏化太阳电池的制备和性能研究[J]. 化学进展, 2011, 23(0203): 548-556.
[8] 孟祥东 刘昕 赵九蓬 辛伍红 李垚. 离子液体中电沉积半导体材料的研究*[J]. 化学进展, 2010, 22(0203): 277-283.
[9] 李强,辜敏,鲜晓红. 铜电结晶的研究进展*[J]. 化学进展, 2008, 20(04): 483-490.
[10] 柴永存,陈晓,赵继宽. 溶致液晶模板电化学沉积纳米材料*[J]. 化学进展, 2005, 17(03): 384-388.
[11] 王淑涛,张祖德. 化学气相沉积法制备氮化钛[J]. 化学进展, 2003, 15(05): 374-.
[12] 许效红,侯云,王民,王弘,周爱秋. 金属β-二酮化合物用于MOCVD法生长铁电氧化物薄膜*[J]. 化学进展, 2002, 14(01): 61-.
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纳米TiO2薄膜的制备方法*