金属β－二酮化合物用于MOCVD法生长铁电氧化物薄膜*

许效红,侯云,王民,王弘,周爱秋

化学进展 ›› 2002, Vol. 14 ›› Issue (01) : 61.

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金属β－二酮化合物用于MOCVD法生长铁电氧化物薄膜*

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Metal β-Diketonates Used as Precursors for Ferroelectric Oxide Thin Films

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