金属氧化物半导体气敏材料抗湿性能提升策略

谭依玲, 李诗纯, 杨希, 金波, 孙杰

化学进展 ›› 2022, Vol. 34 ›› Issue (8) : 1784-1795.

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化学进展 ›› 2022, Vol. 34 ›› Issue (8) : 1784-1795. DOI: 10.7536/PC211033 CSTR: 32298.14.PC211033
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综述

金属氧化物半导体气敏材料抗湿性能提升策略

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Strategies of Improving Anti-Humidity Performance for Metal Oxide Semiconductors Gas-Sensitive Materials

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