二硫化钼薄膜的刻蚀方法及其应用

奚清扬, 刘劲松, 李子全, 朱孔军, 台国安, 宋若谷

化学进展 ›› 2018, Vol. 30 ›› Issue (6) : 847-863.

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化学进展 ›› 2018, Vol. 30 ›› Issue (6) : 847-863. DOI: 10.7536/PC170925 CSTR: 32298.14.PC170925
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二硫化钼薄膜的刻蚀方法及其应用

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Etching Methods and Application of Molybdenum Disulfide Film

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