纳米压印胶专利技术研发态势

罗联源, 边昕, 李明瑞, 戴翀, 李珍珍, 郜珺珩

科学观察 ›› 2020, Vol. 15 ›› Issue (3) : 12-28.

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科学观察 ›› 2020, Vol. 15 ›› Issue (3) : 12-28. DOI: 10.15978/j.cnki.1673-5668.202003002
研究论文

纳米压印胶专利技术研发态势

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The Development Trend of Nano-Imprint Resist Patent Technology

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