纳米压印胶专利技术研发态势

罗联源,边昕,李明瑞,戴翀,李珍珍,郜珺珩

The Development Trend of Nano-Imprint Resist Patent Technology

Lianyuan Luo,Xin Bian,Mingrui Li,Chong Dai,Zhenzhen Li,Junheng Gao

图9 全球主要申请人的紫外压印胶技术分布