纳米压印胶专利技术研发态势
罗联源,边昕,李明瑞,戴翀,李珍珍,郜珺珩
The Development Trend of Nano-Imprint Resist Patent Technology
Lianyuan Luo,Xin Bian,Mingrui Li,Chong Dai,Zhenzhen Li,Junheng Gao
表2
纳米压印胶技术国内申请人排名
排名
申请人
申请量/件
1
无锡英普林纳米科技有限公司
10
2
上海交通大学
3
2
中国科学院光电技术研究所
3
3
上海市纳米科技与产业发展促进中心
2
3
苏州光舵微纳科技股份公司
2