纳米压印胶专利技术研发态势
罗联源,边昕,李明瑞,戴翀,李珍珍,郜珺珩
The Development Trend of Nano-Imprint Resist Patent Technology
Lianyuan Luo,Xin Bian,Mingrui Li,Chong Dai,Zhenzhen Li,Junheng Gao
表1
纳米压印胶技术分解表
技术主题
一级分类
二级分类
三级分类
纳米压印胶
热压印胶
热塑性
热固性
紫外压印胶
预聚体
纯有机型
有机硅型
有机氟型
共混型
共聚型
其他
光引发剂
溶剂
添加剂
其他
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